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반도체 8대 공정장비의 이해 - CMP
- 8대 공정 장비인 CMP에 대한 기본적인 동작원리를 이해하고, Defect의 종류와 원인을 파악하며 CMP를 운영하기 위한 지식들을 통해 CMP 직무적인 역량을 키우는 과정
| 학습시간 | 총 21차시 35일 과정 |
|---|---|
| 강사 | 김준호, 김창호 |
| 교재 |
|
수료 조건
| 수료항목 | 수료기준 | 평가 방법 |
|---|---|---|
| 평가 |
- 시험 있는 과정 : 시험 응시(점수 무관) - 시험 없는 과정 : 시험 없음(진도율로 수료) ※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다. |
- 최종평가 선다형 문제 20문항 출제 총 100점 만점, 배점 각 5점. (총 100% 반영) |
| 진도율 |
진도율 100% 기준, 100% 이상 시 수료 가능 ※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다. |
차시별 총 학습시간의 특정 시간 이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다. ※ 산업안전보건교육은 90%이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다. |
학습목표
- - 반도체 CMP 공정에 대한 전반적인 지식을 이해 할 수 있다.
- - 반도체의 기본작동 동작을 이해하고, 제품별로 이해도를 높일 수 있다.
- - 반도체의 생산에 이용되는 CMP 공정에 대해서 원리를 이해할 수 있다.
- - 반도체 CMP 공정의 이해과정을 통해서 업무 내에서 직무 능력을 향상시킬 수 있다.
학습대상
- - 반도체 관련 기업의 업무를 진행하고 있는 사원~부장, 수석급
- - 반도체 관련 기업에서 영업을 진행하고 있는 사원~부장, 수석급
- - 반도체와 유사한 공정 Process를 진행하고 있는 기업의 사원~부장, 수석급
강사 소개
김준호
(내용전문가)
- 경력
- 현) 엘캠퍼스 교강사
- 전) 대기업 반도체 선행 연구 개발팀 연구원 3년
- 전) 연구 개발 담당 및 공정 프로세스 담당
- 학력
- 미국 TOP 10 대학원 출신
김창호
(내용전문가)
- 경력
- 전) 국내 대기업 11년 근무
- 현) 엘캠퍼스 교강사
- 학력
- 미국 Top 20 MBA 출신
훈련내용
| 차시 | 차시명 | 강의시간 |
|---|---|---|
| 1차시 | CMP장비 Set-Up하기 - CMP란? | 26분 |
| 2차시 | CMP장비 Set-Up하기 - CMP의 도입 배경 및 역사1 | 28분 |
| 3차시 | CMP장비 Set-Up하기 - CMP의 도입 배경 및 역사2 | 31분 |
| 4차시 | CMP 원리의 물리 화학적 이해를 통한 CMP장비 유지·개선하기 1 | 30분 |
| 5차시 | CMP 원리의 물리 화학적 이해를 통한 CMP장비 유지·개선하기 2 | 32분 |
| 6차시 | CMP장비 Set-Up하기 - 전체 공정에서의 CMP공정 역할의 이해 1 | 27분 |
| 7차시 | CMP장비 Set-Up하기 - 전체 공정에서의 CMP공정 역할의 이해 2 | 32분 |
| 8차시 | CMP 장비 유지·개선하기 - defect의 종류와 원인 및 해결 방안 - 1 | 26분 |
| 9차시 | CMP 장비 유지·개선하기 - defect의 종류와 원인 및 해결 방안 - 2 | 30분 |
| 10차시 | CMP 장비 유지·개선하기 - defect의 종류와 원인 및 해결 방안 - 3 | 36분 |
| 11차시 | Dielectric_Material of CMP장비 Set-Up하기 | 33분 |
| 12차시 | STI of CMP장비 Set-Up하기 | 30분 |
| 13차시 | CMP장비 Set-Up하기 - W of CMP | 26분 |
| 14차시 | Cu of CMP장비 Set-Up하기 | 27분 |
| 15차시 | Key chemicals in metal CMP 이해를 통한 CMP장비 Set-Up하기 | 34분 |
| 16차시 | ULK of CMP장비 Set-Up하기 | 27분 |
| 17차시 | Post CMP cleaning 장비 Set-Up하기 | 29분 |
| 18차시 | CMP 후 waste의 처리를 위한 장비 Set-Up하기 | 27분 |
| 19차시 | 측정 및 분석 장비와 CMP장비 Set-Up하기 1 | 29분 |
| 20차시 | 측정 및 분석 장비와 CMP장비 Set-Up하기 2 | 27분 |
| 21차시 | 차세대 CMP 기술 적용을 위한 CMP장비 Set-Up하기 | 30분 |
모사답안 처리기준
- 모사답안의 정의
- 과제·시험에서 타인의 답안을 그대로 복사하거나, 문장의 구조·핵심 표현이 동일한 상태에서 일부만 바꾸어 제출한 답안을 모사답안이라고 합니다. 인터넷·서적·강의자료의 내용을 출처 없이 그대로 옮겨 적는 경우도 포함될 수 있습니다. - 처리 원칙
- 모사답안으로 판정된 경우, 해당 평가의 점수는 0점 처리됩니다.
- 모사답안이 1건 이상 적발되면 해당 수강생의 전체 과정이 미수료로 처리될 수 있습니다.
- 반복·중대한 부정행위 발생 시, 해당 사업장은 최대 1년간 직업능력개발훈련비 지원이 제한될 수 있습니다.
수강 후기
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