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반도체 공정설비 - 플라즈마
- 반도체 공정에서 사용하는 플라즈마에 대해 이해할 수 있는 신규 과정으로, 플라즈마의 기초부터 형성 과정과 사용 공정(Dry Etch, PECVD, PVD 등)의 각 구조와 특성을 학습하며, 플라즈마의 전체적인 원리와 특성을 습득할 수 있는 과정
| 학습시간 | 총 15차시 35일 과정 |
|---|---|
| 강사 | 김준호, 김창호, 조남면 |
| 교재 |
|
수료 조건
| 수료항목 | 수료기준 | 평가 방법 |
|---|---|---|
| 평가 |
- 시험 있는 과정 : 시험 응시(점수 무관) - 시험 없는 과정 : 시험 없음(진도율로 수료) ※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다. |
- 최종평가 선다형 문제 20문항 출제 총 100점 만점, 배점 각 5점. (총 100% 반영) |
| 진도율 |
진도율 100% 기준, 100% 이상 시 수료 가능 ※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다. |
차시별 총 학습시간의 특정 시간 이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다. ※ 산업안전보건교육은 90%이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다. |
학습목표
- - 플라즈마 원리와 특성을 알고, 반도체 공정에서 사용하는 플라즈마의 특성에 대해 이해할 수 있다.
- - 플라즈마 형성 과정과 상호작용을 이해할 수 있다.
- - 기체 분자 운동론과 진공에 대해 이해하고, 진공 상태에서 공정의 특성을 이해할 수 있다.
- - Dry Etch, PECVD, PVD 등 플라즈마 사용 공정의 각 구조와 특성을 이해할 수 있다.
학습대상
- - 반도체 관련 기업의 업무를 진행하고 있는 사원~부장, 수석급
- - 반도체 관련 기업에서 영업을 진행하고 있는 사원~부장, 수석급
- - 반도체와 유사한 공정 Process를 진행하고 있는 기업의 사원~부장, 수석급
강사 소개
김준호
(내용전문가)
- 경력
- 현) 엘캠퍼스 교강사
- 전) 대기업 반도체 선행 연구 개발팀 연구원 3년
- 전) 연구 개발 담당 및 공정 프로세스 담당
- 학력
- 미국 TOP 10 대학원 출신
김창호
(내용전문가)
- 경력
- 전) 국내 대기업 11년 근무
- 현) 엘캠퍼스 교강사
- 학력
- 미국 Top 20 MBA 출신
조남면
(내용전문가)
- 경력
- 총 경력 : 13년 3개월
- - 삼성전자 공정개발팀 ( 13 년 3 개월 )
- 학력
- - 서울대학교 무기재료공학과( 석사졸업 )
훈련내용
| 차시 | 차시명 | 강의시간 |
|---|---|---|
| 1차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (1) | 29분 |
| 2차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (2) | 25분 |
| 3차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (3) | 27분 |
| 4차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (4) | 26분 |
| 5차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (5) | 29분 |
| 6차시 | 단위공정 최적화하기_기체 분자 운동론과 진공 (1) | 26분 |
| 7차시 | 단위공정 최적화하기_기체 분자 운동론과 진공 (2) | 30분 |
| 8차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 형성 방법 (1) | 25분 |
| 9차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 형성 방법 (2) | 25분 |
| 10차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - Dry Etch (1) | 28분 |
| 11차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - Dry Etch (2) | 29분 |
| 12차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - Dry Etch (3) | 27분 |
| 13차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - PECVD | 30분 |
| 14차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - PVD (Sputtering) | 31분 |
| 15차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - Doping | 28분 |
모사답안 처리기준
- 모사답안의 정의
- 과제·시험에서 타인의 답안을 그대로 복사하거나, 문장의 구조·핵심 표현이 동일한 상태에서 일부만 바꾸어 제출한 답안을 모사답안이라고 합니다. 인터넷·서적·강의자료의 내용을 출처 없이 그대로 옮겨 적는 경우도 포함될 수 있습니다. - 처리 원칙
- 모사답안으로 판정된 경우, 해당 평가의 점수는 0점 처리됩니다.
- 모사답안이 1건 이상 적발되면 해당 수강생의 전체 과정이 미수료로 처리될 수 있습니다.
- 반복·중대한 부정행위 발생 시, 해당 사업장은 최대 1년간 직업능력개발훈련비 지원이 제한될 수 있습니다.
수강 후기
반도체
플라즈마 원리 및 실제 응용에 대해 배울 수 있는 매우 좋은 기회였다. 강사님의 친절하고도 수강생의 눈높이에 맞는 수준높은 강의였다. 주변 지인들에게 강하게 추천하고 싶다. 2023.08.31
반도체
플라즈마를 이해하고 학습하는데 매우 유익한 자료 였습니다. 2022.09.02
반도체
조금 졸렸지만 그래도 내용은 좋았습니다.
감사합니다. 2022.08.30
감사합니다. 2022.08.30
반도체
좋은 강의 감사합니다. 2022.08.03