[학습자료] 반도체 8대 공정장비의 이해 - Diffusion & Ion Implantation
0 원
일반 수강료 | 예상 수강료 (기업/단체) |
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62,700 원 |
대기업교육비 : 62,700원
예상지원금액 : 25,080원
예상수강료 : 37,620원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여 반드시 확인하시기 바랍니다. |
중견기업교육비 : 62,700원
예상지원금액 : 50,160원
예상수강료 : 12,540원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여 반드시 확인하시기 바랍니다. |
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우선지원대상기업교육비 : 62,700원
예상지원금액 : 56,430원
예상수강료 : 6,270원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여 반드시 확인하시기 바랍니다. |
과정 분류 | 제목 | 모집마감일 | 교육기간 | 상태 | 강의신청 |
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신규과정으로, 현재 작업 중입니다. (약 일주일 소요 예정) |
※교육기간은 해당 회사 인사담당자의 승인 여부에 따라 달라질 수 있습니다.
수료 항목 | 수료 기준 | 평가 방법 |
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시험 | * 환급(사업주훈련) 과정 100점 만점 기준 60점 이상 * 비환급(일반) 과정 - 시험 있는 과정 : 시험 응시(점수 무관) - 시험 없는 과정 : 시험 없음(진도율로 수료) ※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다. |
- 최종평가 선다형 문제 10문항 출제 총 100점만점, 배점 각 10점.(총 80%반영) - 과제 서술형 문제 1문항 출제 총 100점 만점, 배점 각 100점.(총 20%반영) |
진도율 | * 환급(사업주훈련) 과정 진도율 100% 기준, 80% 이상 시 수료 가능 * 비환급(일반) 과정 진도율 100% 기준, 100% 이상 시 수료 가능 |
차시별 총 학습시간의 50% 이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다. |
차시 | 차시명 | 학습 목표 | 강의 시간 |
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1차시 | Prologue - Patterning 과정 | - 반도체 소자 생산 5단계를 이해한다. - Patterning 과정을 이해한다. |
30분 |
2차시 | Prologue - Wafer Fabrication(1)_공정흐름도 해석하기 | - MOSFET 제작 구조를 해석하고 설명할 수 있다. - 메탈배선의 적층 구조를 해석하고 설명할 수 있다. - 패드(Pad) 및 보호막(Passivation Layer)의 구조를 해석하고 설명할 수 있다. - 공정흐름도로부터 필요한 단위 공정을 파악할 수 있다. |
30분 |
3차시 | Prologue - Wafer Fabrication(2)_공정흐름도 해석하기 | - MOSFET 제작 구조를 해석하고 설명할 수 있다. - 메탈배선의 적층 구조를 해석하고 설명할 수 있다. - 패드(Pad) 및 보호막(Passivation Layer)의 구조를 해석하고 설명할 수 있다. - 공정흐름도로부터 필요한 단위 공정을 파악할 수 있다. |
36분 |
4차시 | 확산장비 Set-Up하기 – About SiO2(1) | - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. | 31분 |
5차시 | 확산장비 Set-Up하기 – About SiO2(2) | - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. | 32분 |
6차시 | 확산장비 Set-Up하기 – About SiO2(3) | - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. | 29분 |
7차시 | 확산장비 Set-Up하기 – About SiO2(4) | - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. | 30분 |
8차시 | 확산장비 Set-Up하기 – SiO2 Growth | - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. | 30분 |
9차시 | 확산장비 Set-Up하기 – SiO2 Growth Equipment(1) | - 확산장비의 주요 구성품, 즉 wafer 반송시스템, process chamber 조작, wafer loading & unloading, 진공펌프 및 적절한 펌프선정, chiller, gas 공급장치 등을 이해하고 정상 동작이 되도록 조작할 수 있다. - 확산장비의 주요 구성품을 구성하여, 하드웨어적으로 설치를 완료할 수 있다. - 확산 조건에 따라 recipe를 구성하여 공정 진행 후, 확산공정이 정확하게 이루어졌는지 확인 및 수정/보완할 수 있다. |
28분 |
10차시 | 확산장비 Set-Up하기 – SiO2 Growth Equipment(2) | - 확산장비의 주요 구성품, 즉 wafer 반송시스템, process chamber 조작, wafer loading & unloading, 진공펌프 및 적절한 펌프선정, chiller, gas 공급장치 등을 이해하고 정상 동작이 되도록 조작할 수 있다. - 확산장비의 주요 구성품을 구성하여, 하드웨어적으로 설치를 완료할 수 있다. - 확산 조건에 따라 recipe를 구성하여 공정 진행 후, 확산공정이 정확하게 이루어졌는지 확인 및 수정/보완할 수 있다. |
29분 |
11차시 | 이온주입장비 Set-Up하기 – Ion Implantation(1) | - Ion Implantation 공정의 목표에 대해 이해한다. - 도핑 parameter에 대해 이해한다. |
29분 |
12차시 | 이온주입장비 Set-Up하기 – Ion Implantation(2) | - 이온주입장비 set-up시 불순물원자 이온화 챔버부, wafer 반송 시스템, analyzer magnet부, beam focus system beam scan system, end station system, 고진공시스템, cryo pump의 compressor 등 주요 구성부품의 동작 원리를 이해하고 정상 동작이 되도록 조작할 수 있다. - 이온주입장비의 주요 구성품을 구성하여, 하드웨어적으로 설치를 완료할 수 있다. |
29분 |
13차시 | 이온주입장비 Set-Up하기 – Ion Implantation Application(1) | - 이온주입장비 set-up에 필요한 utility 및 공급조건을 알고 준비할 수 있다. | 30분 |
14차시 | 이온주입장비 Set-Up하기 – Ion Implantation Application(2) | - 공정종류별 이온주입량 및 방법에 대해서 이해하고, 공정 진행 후, 이온주입공정 결과에 대한 평가를 진행하고 그 결과에 따라 공정조건을 수정/보완할 수 있다. | 33분 |
번호 | 과정 분류 | 제목 | 등록일 | 조회수 |
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10 | 반도체 | 좋은 강의 감사합니다. | 2024-03-28 | 47 |
9 | 반도체 | 공정에 대해 심도있게 알 수 있었습니다. | 2024-03-26 | 63 |
8 | 반도체 | 잘 들었습니다 | 2024-03-05 | 70 |
7 | 반도체 | 반도체 공정이론 후기 | 2024-02-29 | 77 |
6 | 반도체 | 도움이됐습니다 | 2024-02-20 | 93 |
5 | 반도체 | 굳 | 2024-02-14 | 82 |
4 | 반도체 | 반도체 환경 설비 직무향상에 도움이됩니다 | 2024-01-26 | 109 |
3 | 반도체 | 막연했던 그림이 구체적으로.... | 2023-12-03 | 174 |
2 | 반도체 | 교육 | 2023-11-06 | 157 |
1 | 반도체 | 유익한 정보를 많이 배웠습니다. | 2023-09-21 | 241 |