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전체강의 > 반도체 > Deposition 이해 - CVD, PVD

Deposition 이해 - CVD, PVD

휴대폰수강가능 컴퓨터수강가능
기업
일반
20차시 5주 과정
박막증착과 재료별 특성
CVD, PVD 기초
CVD 박막 종류 및 증착 방법
PVD 공정 특성 및 응용
김창호 외 2명 선생님

수강대상

직무영역
연구개발
생산/제조
일반/영업/마케팅
교육대상
신입
과장/선임
부장/수석

교재안내

※교재는 환급제외 대상입니다.

[강의자료] Deposition 이해 - CVD, PVD

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STEP1 과정유형 선택

사업주훈련

근로자 내일배움카드

일반과정 (비환급)

일반 수강료 예상 수강료 (기업/단체)
62,370
대기업교육비 : 62,370원
예상지원금액 : 24,948원
예상수강료 : 37,422원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
반드시 확인하시기 바랍니다.

대기업(1000명 이상)

물음표호버

37,422

중견기업교육비 : 62,370원
예상지원금액 : 49,896원
예상수강료 : 12,474원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
반드시 확인하시기 바랍니다.

중견기업(1000명 미만)

물음표호버

12,474

우선지원대상기업교육비 : 62,370원
예상지원금액 : 56,133원
예상수강료 : 6,237원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
반드시 확인하시기 바랍니다.
일반 수강료 예상 수강료
62,370 0
수강료
200,000

STEP2 개강일 선택

과정 분류 제목 모집마감일 교육기간 상태 강의신청
신규과정으로, 현재 작업 중입니다.
(약 일주일 소요 예정)

※교육기간은 해당 회사 인사담당자의 승인 여부에 따라 달라질 수 있습니다.

과정 분류 제목 모집마감일 교육기간 상태 강의신청
신규과정으로, 현재 작업 중입니다.
(약 일주일 소요 예정)
과정 분류 제목 모집마감일 교육기간 상태 강의신청
반도체
Deposition 이해 - CVD, PVD 상시모집 5주 상시 모집중 신청하기
훈련목표
  • 반도체의 기초부터 시작하여 진공기술 기초, 플라즈마 기술 기초 등 CVD, PVD를 이해할 수 있다.
  • 각 박막 증착 공정의 특성 및 장,단점을 쉽게 파악할 수 있다.
  • 전체적인 공정 흐름에 대한 이해와 CVD, PVD의 이해를 통해 현부서의 개발에 도움이 된다.
  • 1,2,3번의 이해과정을 통해서 업무 내에서 직무 능력을 향상시킬 수 있다.
훈련대상
  • 반도체 관련 기업의 업무를 진행하고 있는 사원~과장, 책임급
  • 반도체 관련 기업에서 영업을 진행하고 있는 사원~과장, 책임급
  • 반도체와 유사한 공정 Process를 진행하고 있는 기업의 사원~과장, 책임급
교수진소개
내용전문가
김기세 선생님
학력
- 인하대학교 전자공학과( 석사졸업 )
경력
총 경력 : 30년 0개월
- 페어차일드 코리아 ( 25 년 )
- 삼성전자 ( 4 년 11 개월 )
내용전문가
김창호 선생님
학력
미국 Top 20 MBA 출신
경력
전) 국내 대기업 11년 근무
현) 엘캠퍼스 교강사
내용전문가
김준호 선생님
학력
미국 TOP 10 대학원 출신
경력
현) 엘캠퍼스 교강사
전) 대기업 반도체 선행 연구 개발팀 연구원 3년
전) 연구 개발 담당 및 공정 프로세스 담당
수료기준
평가방법 및 수료기준
수료 항목 수료 기준 평가 방법
시험 * 환급(사업주훈련) 과정
100점 만점 기준 60점 이상

* 비환급(일반) 과정
- 시험 있는 과정 : 시험 응시(점수 무관)
- 시험 없는 과정 : 시험 없음(진도율로 수료)
※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다.
- 최종평가
선다형 문제 20문항 출제 총 100점 만점, 배점 각 5점. (총 100% 반영)
진도율 * 환급(사업주훈련) 과정
진도율 100% 기준, 80% 이상 시 수료 가능

* 비환급(일반) 과정
진도율 100% 기준, 100% 이상 시 수료 가능

차시별 총 학습시간의 50% 이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다.
모사답안
훈련내용
차시 차시명 학습 목표 강의 시간
1차시 단위공정 최적화하기 박막증착 서론 - 실리콘 기본 특성 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
30분
2차시 단위공정 최적화하기 박막증착 서론 - 진공 및 플라즈마의 특성 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
29분
3차시 단위공정 최적화하기 박막증착 서론 - 플라즈마 발생원 및 응용 공정 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
29분
4차시 단위공정 최적화하기 CVD - CVD 기초 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
33분
5차시 단위공정 최적화하기 CVD - CVD 반응 및 설비 비교 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
30분
6차시 단위공정 최적화하기 CVD - CVD 박막 종류 및 증착 방법 별 산화막 특성 비교 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
30분
7차시 단위공정 최적화하기 CVD - CVD 설비 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
30분
8차시 단위공정 최적화하기 CVD - Step Coverage and Gap fill - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
27분
9차시 단위공정 최적화하기 CVD - Sticking coefficient 및 step coverge 특성 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
27분
10차시 단위공정 최적화하기 CVD - 증착 방법 별 Gap fill 특성 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
28분
11차시 단위공정 최적화하기 CVD - PMD 와 Na contamination - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
- 실시간 공정 모니터링 센서를 활용하여 실시간 공정진단을 수행할 수 있다.
29분
12차시 단위공정 최적화하기 PVD - PVD 소개와 Evaporation 방법 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
27분
13차시 단위공정 최적화하기 PVD - Evaporation 공정 특성 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
- 실시간 공정 모니터링 센서를 활용하여 실시간 공정진단을 수행할 수 있다.
31분
14차시 단위공정 최적화하기 PVD - Sputtering 소개 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
31분
15차시 단위공정 최적화하기 PVD - Sputtering Mechanism - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
26분
16차시 단위공정 최적화하기 PVD - sputtering 박막 특성 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
- 실시간 공정 모니터링 센서를 활용하여 실시간 공정진단을 수행할 수 있다.
28분
17차시 단위공정 최적화하기 PVD - Magnetron sputtering - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
28분
18차시 단위공정 최적화하기 PVD - 다양한 Sputtering 방법 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
29분
19차시 단위공정 최적화하기 PVD - metallization 응용 - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
27분
20차시 단위공정 최적화하기 PVD - Cu interconnect - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다.
- 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다.
- 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다.
- 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다.
29분
유의사항
학습한경유의사항 수강진행이 불가능한 경우