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전체강의 > 반도체 > 반도체 8대 공정장비의 이해 - Diffusion & Ion Implantation

반도체 8대 공정장비의 이해 - Diffusion & Ion Implantation

휴대폰수강가능 컴퓨터수강가능
기업
일반
14차시 5주 과정
확산 이론괴 산화막 성장 및 설비와 이온 주입의 이론 이해
SOI와 HIgh, Low-k 신기술 학습
공정 개발과 양산 효율 향상
확산을 통한 산화막 성장과 이온 주입의 수행 역할 이해
김창호 외 3명 선생님

수강대상

직무영역
연구개발
생산/제조
일반/영업/마케팅
교육대상
신입
과장/선임
부장/수석

교재안내

※교재는 환급제외 대상입니다.

[학습자료] 반도체 8대 공정장비의 이해 - Diffusion & Ion Implantation

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STEP1 과정유형 선택

사업주훈련

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일반과정 (비환급)

일반 수강료 예상 수강료 (기업/단체)
62,700
대기업교육비 : 62,700원
예상지원금액 : 25,080원
예상수강료 : 37,620원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
반드시 확인하시기 바랍니다.

대기업(1000명 이상)

물음표호버

37,620

중견기업교육비 : 62,700원
예상지원금액 : 50,160원
예상수강료 : 12,540원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
반드시 확인하시기 바랍니다.

중견기업(1000명 미만)

물음표호버

12,540

우선지원대상기업교육비 : 62,700원
예상지원금액 : 56,430원
예상수강료 : 6,270원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
반드시 확인하시기 바랍니다.
일반 수강료 예상 수강료
62,700 0
수강료
140,000

STEP2 개강일 선택

과정 분류 제목 모집마감일 교육기간 상태 강의신청
신규과정으로, 현재 작업 중입니다.
(약 일주일 소요 예정)

※교육기간은 해당 회사 인사담당자의 승인 여부에 따라 달라질 수 있습니다.

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(약 일주일 소요 예정)
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반도체
반도체 8대 공정장비의 이해 - Diffusion & Ion Implantation 상시모집 5주 상시 모집중 신청하기
훈련목표
  • 반도체 DNI가 들어가는 공정에 대한 전반적인 지식을 이해하고, 이를 현업에 활용할 수 있다.
  • 반도체 DNI의 기본작동 동작을 이해하고, 공정별로 이해도를 높일 수 있다.
  • 반도체 DNI가 쓰이는 생산에 이용되는 공정에 대해서 원리를 이해하고 간접 경험할 수 있다.
  • 반도체 DNI 적용 공정의 이해과정을 통해서 업무 내에서 직무 능력을 향상시킬 수 있다.
훈련대상
  • 반도체 diffusion & ion implantation가 적용되는 공정과 관련 기업의 업무를 진행하고 있는 사원~부장, 수석급
  • 반도체 diffusion & ion implantation가 적용되는 공정과 관련 기업에서 영업을 진행하고 있는 사원~부장, 수석급
  • 반도체 diffusion & ion implantation가 적용되는 공정 및 유사한 공정 Process를 진행하고 있는 기업의 사원~부장, 수석급
교수진소개
내용전문가
김기세 선생님
학력
- 인하대학교 전자공학과( 석사졸업 )
경력
총 경력 : 30년 0개월
- 페어차일드 코리아 ( 25 년 )
- 삼성전자 ( 4 년 11 개월 )
내용전문가
조남면 선생님
학력
- 서울대학교 무기재료공학과( 석사졸업 )
경력
총 경력 : 13년 3개월
- 삼성전자 공정개발팀 ( 13 년 3 개월 )
내용전문가
김창호 선생님
학력
미국 Top 20 MBA 출신
경력
전) 국내 대기업 11년 근무
현) 엘캠퍼스 교강사
내용전문가
김준호 선생님
학력
미국 TOP 10 대학원 출신
경력
현) 엘캠퍼스 교강사
전) 대기업 반도체 선행 연구 개발팀 연구원 3년
전) 연구 개발 담당 및 공정 프로세스 담당
수료기준
평가방법 및 수료기준
수료 항목 수료 기준 평가 방법
시험 * 환급(사업주훈련) 과정
100점 만점 기준 60점 이상

* 비환급(일반) 과정
- 시험 있는 과정 : 시험 응시(점수 무관)
- 시험 없는 과정 : 시험 없음(진도율로 수료)
※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다.
- 최종평가
선다형 문제 10문항 출제 총 100점만점, 배점 각 10점.(총 80%반영)
- 과제
서술형 문제 1문항 출제 총 100점 만점, 배점 각 100점.(총 20%반영)
진도율 * 환급(사업주훈련) 과정
진도율 100% 기준, 80% 이상 시 수료 가능

* 비환급(일반) 과정
진도율 100% 기준, 100% 이상 시 수료 가능

차시별 총 학습시간의 50% 이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다.
모사답안
훈련내용
차시 차시명 학습 목표 강의 시간
1차시 Prologue - Patterning 과정 - 반도체 소자 생산 5단계를 이해한다.
- Patterning 과정을 이해한다.
30분
2차시 Prologue - Wafer Fabrication(1)_공정흐름도 해석하기 - MOSFET 제작 구조를 해석하고 설명할 수 있다.
- 메탈배선의 적층 구조를 해석하고 설명할 수 있다.
- 패드(Pad) 및 보호막(Passivation Layer)의 구조를 해석하고 설명할 수 있다.
- 공정흐름도로부터 필요한 단위 공정을 파악할 수 있다.
30분
3차시 Prologue - Wafer Fabrication(2)_공정흐름도 해석하기 - MOSFET 제작 구조를 해석하고 설명할 수 있다.
- 메탈배선의 적층 구조를 해석하고 설명할 수 있다.
- 패드(Pad) 및 보호막(Passivation Layer)의 구조를 해석하고 설명할 수 있다.
- 공정흐름도로부터 필요한 단위 공정을 파악할 수 있다.
36분
4차시 확산장비 Set-Up하기 – About SiO2(1) - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. 31분
5차시 확산장비 Set-Up하기 – About SiO2(2) - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. 32분
6차시 확산장비 Set-Up하기 – About SiO2(3) - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. 29분
7차시 확산장비 Set-Up하기 – About SiO2(4) - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. 30분
8차시 확산장비 Set-Up하기 – SiO2 Growth - 확산공정에 대해서 이해하고, 필요한 utility와 utility 공급 조건을 확인하고 준비할 수 있다. 30분
9차시 확산장비 Set-Up하기 – SiO2 Growth Equipment(1) - 확산장비의 주요 구성품, 즉 wafer 반송시스템, process chamber 조작, wafer loading & unloading, 진공펌프 및 적절한 펌프선정, chiller, gas 공급장치 등을 이해하고 정상 동작이 되도록 조작할 수 있다.
- 확산장비의 주요 구성품을 구성하여, 하드웨어적으로 설치를 완료할 수 있다.
- 확산 조건에 따라 recipe를 구성하여 공정 진행 후, 확산공정이 정확하게 이루어졌는지 확인 및 수정/보완할 수 있다.
28분
10차시 확산장비 Set-Up하기 – SiO2 Growth Equipment(2) - 확산장비의 주요 구성품, 즉 wafer 반송시스템, process chamber 조작, wafer loading & unloading, 진공펌프 및 적절한 펌프선정, chiller, gas 공급장치 등을 이해하고 정상 동작이 되도록 조작할 수 있다.
- 확산장비의 주요 구성품을 구성하여, 하드웨어적으로 설치를 완료할 수 있다.
- 확산 조건에 따라 recipe를 구성하여 공정 진행 후, 확산공정이 정확하게 이루어졌는지 확인 및 수정/보완할 수 있다.
29분
11차시 이온주입장비 Set-Up하기 – Ion Implantation(1) - Ion Implantation 공정의 목표에 대해 이해한다.
- 도핑 parameter에 대해 이해한다.
29분
12차시 이온주입장비 Set-Up하기 – Ion Implantation(2) - 이온주입장비 set-up시 불순물원자 이온화 챔버부, wafer 반송 시스템, analyzer magnet부, beam focus system beam scan system, end station system, 고진공시스템, cryo pump의 compressor 등 주요 구성부품의 동작 원리를 이해하고 정상 동작이 되도록 조작할 수 있다.
- 이온주입장비의 주요 구성품을 구성하여, 하드웨어적으로 설치를 완료할 수 있다.
29분
13차시 이온주입장비 Set-Up하기 – Ion Implantation Application(1) - 이온주입장비 set-up에 필요한 utility 및 공급조건을 알고 준비할 수 있다. 30분
14차시 이온주입장비 Set-Up하기 – Ion Implantation Application(2) - 공정종류별 이온주입량 및 방법에 대해서 이해하고, 공정 진행 후, 이온주입공정 결과에 대한 평가를 진행하고 그 결과에 따라 공정조건을 수정/보완할 수 있다. 33분
수강후기
번호 과정 분류 제목 등록일 조회수
48 반도체 좋은 강의 감사합니다. 2024-03-28 28
47 반도체 공정에 대해 심도있게 알 수 있었습니다. 2024-03-26 37
46 반도체 잘 들었습니다 2024-03-05 53
45 반도체 반도체 공정이론 후기 2024-02-29 57
44 반도체 도움이됐습니다 2024-02-20 76
43 반도체 2024-02-14 72
42 반도체 반도체 환경 설비 직무향상에 도움이됩니다 2024-01-26 101
41 반도체 막연했던 그림이 구체적으로.... 2023-12-03 161
40 반도체 교육 2023-11-06 145
39 반도체 유익한 정보를 많이 배웠습니다. 2023-09-21 232
38 반도체 강의 후기 2023-08-31 208
37 반도체 수강 후기 2023-08-25 186
36 반도체 도움되는 강의였습니다. 2023-07-13 320
35 반도체 수강 후기 2023-06-26 368
34 반도체 감사했습니다. 2023-03-31 382
33 반도체 반도체의 정석 기본편 2023-02-28 548
32 반도체 반도체의 정석 - 기본편 2023-01-09 447
31 반도체 반도체 소자의 이해 (입문) 2023-01-09 726
30 반도체 좋은 강의 2023-01-09 462
29 반도체 2021 반도체 트렌드 수강후기 2023-01-05 460
28 반도체 감사했습니다. 2022-12-27 501
27 반도체 교육후기 2022-12-12 742
26 반도체 너무 유익하고 좋은 교육 2022-12-08 908
25 반도체 어렵지만 재밌습니다 2022-12-05 749
24 반도체 반도체 트랜드 수강 2022-11-29 1345
23 반도체 상세한 강의 덕에 자신감이 생겼습니다. 2022-11-15 1731
22 반도체 반도체 트렌드를 파악할수 있어서 좋았습니다. 2022-11-10 1961
21 반도체 "반도체 기초 소양을 향상시키는데 좋습니다" 2022-11-04 2273
20 반도체 감사했습니다. 2022-10-28 1880
19 반도체 좋아요 2022-10-12 2254
18 반도체 알기쉽게 설명 2022-09-15 2247
17 반도체 교육후기 2022-09-13 2385
16 반도체 교육 소감 2022-09-04 1937
15 반도체 플라즈마 2022-09-02 1822
14 반도체 반도체 산업 첫 걸음 2022-08-31 1988
13 반도체 감사했습니다. 2022-08-30 2055
12 반도체반도체 수업 잘 들었습니다. 2022-08-03 2916
11 반도체 추천하고 싶은 과정입니다. 2022-08-02 2716
10 반도체 교육 후기 2022-07-16 2273
9 반도체 좋은강의감사합니다. 2022-07-06 2418
8 반도체 좋은강의감사합니다. 2022-07-04 2509
7 반도체 교육 완료했습니다 2022-07-04 2659
6 반도체 도움이 됩니다 2022-06-24 2423
5 반도체 교육을 통한 학습 가능 2022-06-15 3109
4 반도체 감사 합니다 2022-06-14 3083
3 반도체 후기작성 2022-06-07 3312
2 반도체 유익한 교육 이였습니다. 2022-05-19 4074
1 반도체 매우 유익한 교육 입니다 2022-04-26 4437
유의사항
학습한경유의사항 수강진행이 불가능한 경우