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전체강의 > 반도체 > 반도체 8대 공정장비의 이해 - Dry Etching

반도체 8대 공정장비의 이해 - Dry Etching

휴대폰수강가능 컴퓨터수강가능
기업
일반
이미지 강의 미리보기 faq
총15차시 5주 과정
전공정에 사용되는 8대 공정의 이해
Etch 장비 Setup과 유지, 개선법
장비 특성에 따른 설비표준과 작업 표준
장비 운영 매뉴얼에 따른 조작법
김준호 외 1명 선생님

수강대상

직무영역
연구개발
생산/제조
일반/영업/마케팅
교육대상
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일반 수강료 예상 수강료 (기업/단체)
47,520 원
대기업교육비 : 47,520원
예상지원금액 : 19,008원
예상수강료 : 28,512원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
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대기업(1000명 이상)

물음표호버

28,512 원

중견기업교육비 : 47,520원
예상지원금액 : 38,016원
예상수강료 : 9,504원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
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중견기업(1000명 미만)

물음표호버

9,504 원

우선지원대상기업교육비 : 47,520원
예상지원금액 : 42,768원
예상수강료 : 4,752원
본인이 수강지원금 환급 대상자인지의 여부는
소속 노동사무소 (고용지원센터)에 문의하여
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우선지원기업

우선지원대상기업이란? 물음표호버

4,752 원

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수강료
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신규과정으로, 현재 작업 중입니다.
(약 일주일 소요 예정)

※교육기간은 해당 회사 인사담당자의 승인 여부에 따라 달라질 수 있습니다.

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반도체
반도체 8대 공정장비의 이해 - Dry Etching 상시모집 5주 상시 모집중 신청하기

컨텐츠 탭

훈련목표
  • 반도체가 공정에 대한 전반적인 지식을 이해하고, 이를 현업에 활용할 수 있다.
  • 반도체의 기본작동 동작을 이해하고, 제품별로 이해도를 높일 수 있다.
  • 반도체의 생산에 이용되는 공정에 대해서 원리를 이해하고 간접 경험할 수 있다.
  • 반도체 공정의 이해과정을 통해서 업무 내에서 직무 능력을 향상시킬 수 있다.
훈련대상
  • 반도체 관련 기업의 업무를 진행하고 있는 사원~부장, 수석급
  • 반도체 관련 기업에서 영업을 진행하고 있는 사원~부장, 수석급
  • 반도체와 유사한 공정 Process를 진행하고 있는 기업의 사원~부장, 수석급
  • 반도체 시장, 스마트폰 시장, IT 시장 등 IT전반에 걸친 정보가 필요한 기업의 사원 ~ 부장, 수석급
교수진소개
내용전문가
김준호 선생님
학력
미국 TOP 10 대학원 출신
경력
현) 엘캠퍼스 교강사
전) 대기업 반도체 선행 연구 개발팀 연구원 3년
전) 연구 개발 담당 및 공정 프로세스 담당
내용전문가
김기세 선생님
학력
- 인하대학교 전자공학과( 석사졸업 )
경력
총 경력 : 30년 0개월
- 페어차일드 코리아 ( 25 년 )
- 삼성전자 ( 4 년 11 개월 )
수료기준
평가방법 및 수료기준
수료 항목 수료 기준 평가 방법
시험 * 환급(사업주훈련) 과정
100점 만점 기준 60점 이상

* 비환급(일반) 과정
- 시험 있는 과정 : 시험 응시(점수 무관)
- 시험 없는 과정 : 시험 없음(진도율로 수료)
※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다.		 - 최종평가
선다형 문제 10문항 출제 총 100점만점, 배점 각 10점.(총 80%반영)
- 과제
서술형 문제 1문항 출제 총 100점 만점, 배점 각 100점.(총 20% 반영)
진도율 * 환급(사업주훈련) 과정
진도율 100% 기준, 80% 이상 시 수료 가능

* 비환급(일반) 과정
진도율 100% 기준, 100% 이상 시 수료 가능
차시별 총 학습시간의 50% 이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다.
모사답안
훈련내용
차시 차시명 학습 목표 강의 시간
1차시 Prologue(서론) - 1 - 반도체 소자 생산 5단계중 전공정에서 사용되는 8대 공정을 개략적으로 이해한다. 30분
2차시 Prologue(서론) - 2 - 반도체 소자 생산 5단계중 전공정에 해당하는 Wafer Fabrication에서 사용되는 반도체 8대 공정에 대해서 간략히 이해한다 34분
3차시 Etch 장비 Set-Up하기 – Gas, Vacuum, Gas Collision - 장비 Model, PM(Process Module)의 구성, 공통사양 등 Etch 장비별 사양서(Specification)을 작성할 수 있다.
- Etch 장비와 부대설비들의 Dimension을 파악하여 Lay-out을 작성할 수 있다.
- 각종 Utility 및 공정 Gas의 제원을 파악하고 올바른 배관자재의 선택과 정확한 접속 위치를 알 수 있다.
- 장비 시운전에 필요한 장비를 조작하여 장비의 각종 Parameter의 초기 Data을 기록할 수 있다.
- 해당공정 Qualification을 할 수 있다.
- 설비표준, 작업표준을 작성할 수 있다.		 29분
4차시 Etch 장비 유지·개선하기 – Gas, Vacuum, Gas Collision - Etch 장비 특성에 따라 Etch 장비 운영 매뉴얼을 작성하고 숙지하여, 주기적인 사전 예방 점검 항목 및 점검 방법을 파악할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 Etch 장비를 조작할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 장비 성능 유지를 위해 장비이력(누적 Plasma 시간, 각종부품 교체 등) 점검 및 관리할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 주요 세부 공정 Key Parameter(RF Power, Gas, 압력 등)를 관리하고, 고장 종류에 따라 점검 및 조치를 할 수 있다.
- PM(Process Module)의 구조를 알고 Process chamber내 Part(Process kit)의 세정 및 교환주기를 설정 등 예방정비 할 수 있다.
- 각종 부대설비(Chiller, Vacuum Pump 등)의 정확한 동작상태를 알고 예방정비를 할 수 있다.		 31분
5차시 Etch 장비 Set-Up하기 – About Plasma - 1 - 장비 Model, PM(Process Module)의 구성, 공통사양 등 Etch 장비별 사양서(Specification)을 작성할 수 있다.
- Etch 장비와 부대설비들의 Dimension을 파악하여 Lay-out을 작성할 수 있다.
- 각종 Utility 및 공정 Gas의 제원을 파악하고 올바른 배관자재의 선택과 정확한 접속 위치를 알 수 있다.
- 장비 시운전에 필요한 장비를 조작하여 장비의 각종 Parameter의 초기 Data을 기록할 수 있다.
- 해당공정 Qualification을 할 수 있다.
- 설비표준, 작업표준을 작성할 수 있다.		 29분
6차시 Etch 장비 Set-Up하기 – About Plasma - 2 - 장비 Model, PM(Process Module)의 구성, 공통사양 등 Etch 장비별 사양서(Specification)을 작성할 수 있다.
- Etch 장비와 부대설비들의 Dimension을 파악하여 Lay-out을 작성할 수 있다.
- 각종 Utility 및 공정 Gas의 제원을 파악하고 올바른 배관자재의 선택과 정확한 접속 위치를 알 수 있다.
- 장비 시운전에 필요한 장비를 조작하여 장비의 각종 Parameter의 초기 Data을 기록할 수 있다.
- 해당공정 Qualification을 할 수 있다.
- 설비표준, 작업표준을 작성할 수 있다.		 31분
7차시 Etch 장비 Set-Up하기 – About Plasma - 3 - 장비 Model, PM(Process Module)의 구성, 공통사양 등 Etch 장비별 사양서(Specification)을 작성할 수 있다.
- Etch 장비와 부대설비들의 Dimension을 파악하여 Lay-out을 작성할 수 있다.
- 각종 Utility 및 공정 Gas의 제원을 파악하고 올바른 배관자재의 선택과 정확한 접속 위치를 알 수 있다.
- 장비 시운전에 필요한 장비를 조작하여 장비의 각종 Parameter의 초기 Data을 기록할 수 있다.
- 해당공정 Qualification을 할 수 있다.
- 설비표준, 작업표준을 작성할 수 있다.		 32분
8차시 Ashing 장비 Set-Up하기 및 유지 개선하기 – Plasma Etcher - 장비 Model, PM(Process Module)의 구성, 공통사양 등 Ashing 장비별 사양서(Specification)을 작성할 수 있다.
- Ashing 장비와 부대설비들의 Dimension을 파악하여 Lay-out을 작성할 수 있다.
- 각종 Utility 및 공정 Gas의 제원을 파악하고 올바른 배관자재의 선택과 정확한 접속 위치를 알 수 있다.
- 장비 시운전에 필요한 장비를 조작하여 장비의 각종 Parameter의 초기 Data을 기록할 수 있다.
- 해당공정 Qualification을 할 수 있다.
- 설비표준, 작업표준을 작성할 수 있다.		 30분
9차시 Etch 장비 Set-Up하기 – Plasma Etcher - 1 - 장비 Model, PM(Process Module)의 구성, 공통사양 등 Etch 장비별 사양서(Specification)을 작성할 수 있다.
- Etch 장비와 부대설비들의 Dimension을 파악하여 Lay-out을 작성할 수 있다.
- 각종 Utility 및 공정 Gas의 제원을 파악하고 올바른 배관자재의 선택과 정확한 접속 위치를 알 수 있다.
- 장비 시운전에 필요한 장비를 조작하여 장비의 각종 Parameter의 초기 Data을 기록할 수 있다.
- 해당공정 Qualification을 할 수 있다.
- 설비표준, 작업표준을 작성할 수 있다.		 29분
10차시 Etch 장비 Set-Up하기 – Plasma Etcher - 2 - 장비 Model, PM(Process Module)의 구성, 공통사양 등 Etch 장비별 사양서(Specification)을 작성할 수 있다.
- Etch 장비와 부대설비들의 Dimension을 파악하여 Lay-out을 작성할 수 있다.
- 각종 Utility 및 공정 Gas의 제원을 파악하고 올바른 배관자재의 선택과 정확한 접속 위치를 알 수 있다.
- 장비 시운전에 필요한 장비를 조작하여 장비의 각종 Parameter의 초기 Data을 기록할 수 있다.
- 해당공정 Qualification을 할 수 있다.
- 설비표준, 작업표준을 작성할 수 있다.		 28분
11차시 Etch 장비 유지·개선하기 – Dry Etching - 1 - Etch 장비 특성에 따라 Etch 장비 운영 매뉴얼을 작성하고 숙지하여, 주기적인 사전 예방 점검 항목 및 점검 방법을 파악할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 Etch 장비를 조작할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 장비 성능 유지를 위해 장비이력(누적 Plasma 시간, 각종부품 교체 등) 점검 및 관리할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 주요 세부 공정 Key Parameter(RF Power, Gas, 압력 등)를 관리하고, 고장 종류에 따라 점검 및 조치를 할 수 있다.
- PM(Process Module)의 구조를 알고 Process chamber내 Part(Process kit)의 세정 및 교환주기를 설정 등 예방정비 할 수 있다.
- 각종 부대설비(Chiller, Vacuum Pump 등)의 정확한 동작상태를 알고 예방정비를 할 수 있다.		 28분
12차시 Etch 장비 유지·개선하기 – Dry Etching - 2 - Etch 장비 특성에 따라 Etch 장비 운영 매뉴얼을 작성하고 숙지하여, 주기적인 사전 예방 점검 항목 및 점검 방법을 파악할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 Etch 장비를 조작할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 장비 성능 유지를 위해 장비이력(누적 Plasma 시간, 각종부품 교체 등) 점검 및 관리할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 주요 세부 공정 Key Parameter(RF Power, Gas, 압력 등)를 관리하고, 고장 종류에 따라 점검 및 조치를 할 수 있다.
- PM(Process Module)의 구조를 알고 Process chamber내 Part(Process kit)의 세정 및 교환주기를 설정 등 예방정비 할 수 있다.
- 각종 부대설비(Chiller, Vacuum Pump 등)의 정확한 동작상태를 알고 예방정비를 할 수 있다.		 30분
13차시 Etch 장비 유지·개선하기 – Dry Etching - 3 - Etch 장비 특성에 따라 Etch 장비 운영 매뉴얼을 작성하고 숙지하여, 주기적인 사전 예방 점검 항목 및 점검 방법을 파악할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 Etch 장비를 조작할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 장비 성능 유지를 위해 장비이력(누적 Plasma 시간, 각종부품 교체 등) 점검 및 관리할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 주요 세부 공정 Key Parameter(RF Power, Gas, 압력 등)를 관리하고, 고장 종류에 따라 점검 및 조치를 할 수 있다.
- PM(Process Module)의 구조를 알고 Process chamber내 Part(Process kit)의 세정 및 교환주기를 설정 등 예방정비 할 수 있다.
- 각종 부대설비(Chiller, Vacuum Pump 등)의 정확한 동작상태를 알고 예방정비를 할 수 있다.		 31분
14차시 Etch 장비 유지·개선하기 – Dry Etching - 4 - Etch 장비 특성에 따라 Etch 장비 운영 매뉴얼을 작성하고 숙지하여, 주기적인 사전 예방 점검 항목 및 점검 방법을 파악할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 Etch 장비를 조작할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 장비 성능 유지를 위해 장비이력(누적 Plasma 시간, 각종부품 교체 등) 점검 및 관리할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 주요 세부 공정 Key Parameter(RF Power, Gas, 압력 등)를 관리하고, 고장 종류에 따라 점검 및 조치를 할 수 있다.
- PM(Process Module)의 구조를 알고 Process chamber내 Part(Process kit)의 세정 및 교환주기를 설정 등 예방정비 할 수 있다.
- 각종 부대설비(Chiller, Vacuum Pump 등)의 정확한 동작상태를 알고 예방정비를 할 수 있다.		 31분
15차시 Etch 장비 유지·개선하기 – Dry Etching - 5 - Etch 장비 특성에 따라 Etch 장비 운영 매뉴얼을 작성하고 숙지하여, 주기적인 사전 예방 점검 항목 및 점검 방법을 파악할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 Etch 장비를 조작할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 장비 성능 유지를 위해 장비이력(누적 Plasma 시간, 각종부품 교체 등) 점검 및 관리할 수 있다.
- Etch 장비 운영 매뉴얼에 따라 주요 세부 공정 Key Parameter(RF Power, Gas, 압력 등)를 관리하고, 고장 종류에 따라 점검 및 조치를 할 수 있다.
- PM(Process Module)의 구조를 알고 Process chamber내 Part(Process kit)의 세정 및 교환주기를 설정 등 예방정비 할 수 있다.
- 각종 부대설비(Chiller, Vacuum Pump 등)의 정확한 동작상태를 알고 예방정비를 할 수 있다.		 39분
수강후기
번호 과정 분류 제목 등록일 조회수
48 반도체 좋은 강의 감사합니다. 2024-03-28 25
47 반도체 공정에 대해 심도있게 알 수 있었습니다. 2024-03-26 31
46 반도체 잘 들었습니다 2024-03-05 51
45 반도체 반도체 공정이론 후기 2024-02-29 56
44 반도체 도움이됐습니다 2024-02-20 73
43 반도체 굳 2024-02-14 69
42 반도체 반도체 환경 설비 직무향상에 도움이됩니다 2024-01-26 100
41 반도체 막연했던 그림이 구체적으로.... 2023-12-03 158
40 반도체 교육 2023-11-06 142
39 반도체 유익한 정보를 많이 배웠습니다. 2023-09-21 230
38 반도체 강의 후기 2023-08-31 204
37 반도체 수강 후기 2023-08-25 184
36 반도체 도움되는 강의였습니다. 2023-07-13 317
35 반도체 수강 후기 2023-06-26 366
34 반도체 감사했습니다. 2023-03-31 379
33 반도체 반도체의 정석 기본편 2023-02-28 547
32 반도체 반도체의 정석 - 기본편 2023-01-09 445
31 반도체 반도체 소자의 이해 (입문) 2023-01-09 723
30 반도체 좋은 강의 2023-01-09 459
29 반도체 2021 반도체 트렌드 수강후기 2023-01-05 457
28 반도체 감사했습니다. 2022-12-27 498
27 반도체 교육후기 2022-12-12 736
26 반도체 너무 유익하고 좋은 교육 2022-12-08 901
25 반도체 어렵지만 재밌습니다 2022-12-05 744
24 반도체 반도체 트랜드 수강 2022-11-29 1337
23 반도체 상세한 강의 덕에 자신감이 생겼습니다. 2022-11-15 1718
22 반도체 반도체 트렌드를 파악할수 있어서 좋았습니다. 2022-11-10 1945
21 반도체 "반도체 기초 소양을 향상시키는데 좋습니다" 2022-11-04 2266
20 반도체 감사했습니다. 2022-10-28 1864
19 반도체 좋아요 2022-10-12 2239
18 반도체 알기쉽게 설명 2022-09-15 2239
17 반도체 교육후기 2022-09-13 2373
16 반도체 교육 소감 2022-09-04 1927
15 반도체 플라즈마 2022-09-02 1814
14 반도체 반도체 산업 첫 걸음 2022-08-31 1977
13 반도체 감사했습니다. 2022-08-30 2046
12 반도체반도체 수업 잘 들었습니다. 2022-08-03 2905
11 반도체 추천하고 싶은 과정입니다. 2022-08-02 2698
10 반도체 교육 후기 2022-07-16 2266
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8 반도체 좋은강의감사합니다. 2022-07-04 2495
7 반도체 교육 완료했습니다 2022-07-04 2647
6 반도체 도움이 됩니다 2022-06-24 2417
5 반도체 교육을 통한 학습 가능 2022-06-15 3097
4 반도체 감사 합니다 2022-06-14 3070
3 반도체 후기작성 2022-06-07 3292
2 반도체 유익한 교육 이였습니다. 2022-05-19 4056
1 반도체 매우 유익한 교육 입니다 2022-04-26 4414
유의사항
학습한경유의사항 수강진행이 불가능한 경우